증권사리포트
>>반도체 공정 미세화에 필요한 LPCVD 및 ALD 장비 공급
-유진테크는 Single Thermal LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비를 주력제품으로 갖췄다.
-Aixtron의 ALD (Atomic Layer Deposition) 장비 사업을 양수해 미국법인 (사명 Eugeneus, 지분율 100%)으로 보유 중이다.
-기타 자회사는 유진테크 머티리얼즈 (특수관계인 지분율 포함 80%), 에콜라이트 (인공경량골재, 지분율 44.46%)등이다.
-장비 제조용 원재료는 웨이퍼 이송장치와 히터이다
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